脉冲激光溅射沉积PZT膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯钟潮,赵岩,锺志源 |
| 刊名 | 应用激光
 |
| 出版日期 | 1999-10-25 |
| 期号 | 5页码:262-264+268 |
| 关键词 | 脉冲激光溅射沉积 压电陶瓷 薄膜 |
| 中文摘要 | 利用脉冲激光溅射沉积ＰＺＴ压电陶瓷薄膜。着重研究了制备过程对膜层成分和结构的控制。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27387]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯钟潮,赵岩,锺志源. 脉冲激光溅射沉积PZT膜[J]. 应用激光,1999(5):262-264+268. |
| APA | 冯钟潮,赵岩,锺志源.(1999).脉冲激光溅射沉积PZT膜.应用激光(5),262-264+268. |
| MLA | 冯钟潮,赵岩,锺志源."脉冲激光溅射沉积PZT膜".应用激光 .5(1999):262-264+268. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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