超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系
文献类型：期刊论文
| 作者 | 白雪冬,黄荣芳,闻立时 |
| 刊名 | 真空科学与技术
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| 出版日期 | 1999-04-15 |
| 期号 | 2页码:32-34 |
| 关键词 | 光学函数 介电函数 超薄铝膜 |
| 中文摘要 | 利用WFZ90 0 D4型紫外 /可见光分光光度计 ,测量了磁控测射超薄Al膜的可见光反射比和透射比。采用牛顿 辛普森方法确定超薄Al膜光学函数 ,进而计算其介电函数 ,得到了它们随膜厚变化的关系。结果表明 ,不同特征尺寸的薄膜 ,具有不同的电磁特性参数 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27507]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 白雪冬,黄荣芳,闻立时. 超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系[J]. 真空科学与技术,1999(2):32-34. |
| APA | 白雪冬,黄荣芳,闻立时.(1999).超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系.真空科学与技术(2),32-34. |
| MLA | 白雪冬,黄荣芳,闻立时."超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系".真空科学与技术 .2(1999):32-34. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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