分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈广超,黄荣芳,闻立时 |
| 刊名 | 材料研究学报
 |
| 出版日期 | 1997-06-25 |
| 期号 | 3页码:331-333 |
| 关键词 | 热丝法 分离 电阻 晶形 生长区 |
| 中文摘要 | 采用热丝法沉积金刚石膜.分离送入氢气和甲烷．使作为发热体的钨丝电阻值比经典的热丝法降低20％．用此法制得的金刚石晶形较好．实验表明：反应气体的流量对膜的致密生长区影响很大． |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27847]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈广超,黄荣芳,闻立时. 分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜[J]. 材料研究学报,1997(3):331-333. |
| APA | 陈广超,黄荣芳,闻立时.(1997).分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜.材料研究学报(3),331-333. |
| MLA | 陈广超,黄荣芳,闻立时."分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜".材料研究学报 .3(1997):331-333. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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