脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣①
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵岩，冯钟潮，梁勇 |
| 刊名 | 云南大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 1997-01-12 |
| 期号 | 1页码:66-68 |
| 关键词 | 脉冲激光溅射 SnO2 气敏膜分类号TN304．21薄膜型传感器易于微型化 集成化 同半导体技术结合起来 制成性能稳定 低能耗 强功能的气敏器件 是气敏传感器的发展方向之一。制作薄膜气敏器件的关键技术之一是薄膜的生长技术。现在采用的有：蒸发法 溅射法 溶胶－凝胶（SO |
| 中文摘要 | 脉冲激光溅射镀膜是一种高质量的薄膜制备技术，本文研究分别以ＳｎＯ２和纯锡作靶，用此技术生长的ＳｎＯ２膜的结构及对氢、乙醇的气敏性，探索将此技术应用于气敏膜制备的途径。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27914]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵岩，冯钟潮，梁勇. 脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣①[J]. 云南大学学报(自然科学版),1997(1):66-68. |
| APA | 赵岩，冯钟潮，梁勇.(1997).脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣①.云南大学学报(自然科学版)(1),66-68. |
| MLA | 赵岩，冯钟潮，梁勇."脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣①".云南大学学报(自然科学版) .1(1997):66-68. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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