铜阴极溅射辉光放电在强短脉冲供电时的发射光谱研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 弓振斌,周振杨,艹凡原,王小如,黄本立,任建世,马洪波,陈明,张功杼 |
| 刊名 | 分析科学学报
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| 出版日期 | 1996-09-25 |
| 期号 | 3页码:2-6 |
| 关键词 | Ionic line Atomic line Cathode sputtering glow discharge emission spectrometry High current and microsecond pulsed operation Voltage current curve |
| 中文摘要 | 本研究工作以强短脉冲供电和直流供电时辉光放电的伏安特性为基础，详细研究了强短脉冲供电时的电流、脉冲频率、脉冲宽度以及Ａｒ气压力对原子线和离子线强度的影响．实验结果揭示了大电流强短脉冲供电时辉光放电发射光谱的现象 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27973]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 弓振斌,周振杨,艹凡原,王小如,黄本立,任建世,马洪波,陈明,张功杼. 铜阴极溅射辉光放电在强短脉冲供电时的发射光谱研究[J]. 分析科学学报,1996(3):2-6. |
| APA | 弓振斌,周振杨,艹凡原,王小如,黄本立,任建世,马洪波,陈明,张功杼.(1996).铜阴极溅射辉光放电在强短脉冲供电时的发射光谱研究.分析科学学报(3),2-6. |
| MLA | 弓振斌,周振杨,艹凡原,王小如,黄本立,任建世,马洪波,陈明,张功杼."铜阴极溅射辉光放电在强短脉冲供电时的发射光谱研究".分析科学学报 .3(1996):2-6. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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