热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘德义，黄荣芳，于杰，闻立时，师昌绪 |
| 刊名 | 材料研究学报
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| 出版日期 | 1996-06-25 |
| 期号 | 3页码:279-284 |
| 关键词 | 辐照场 金刚石膜生长 HFCVD |
| 中文摘要 | 对热丝法化学气相沉积金刚石膜中的辐射场和温度场进行了计算结果表明，在样品平面沿Ｘ，Ｙ方向均匀辐照度（温度）区的线性尺寸比高温度梯度区的尺寸快速增大沿Ｚ方向均匀辐照度（温度）区的深度随样品到加热丝距离的增加而增大辐照度（温度）的大小可通过改变加热丝间距得到控制． |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28018]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘德义，黄荣芳，于杰，闻立时，师昌绪. 热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应[J]. 材料研究学报,1996(3):279-284. |
| APA | 刘德义，黄荣芳，于杰，闻立时，师昌绪.(1996).热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应.材料研究学报(3),279-284. |
| MLA | 刘德义，黄荣芳，于杰，闻立时，师昌绪."热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应".材料研究学报 .3(1996):279-284. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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