陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈岩，戴吉岩，苏革，黄荣芳，闻立时，师昌绪 |
| 刊名 | 人工晶体学报
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| 出版日期 | 1994-11-30 |
| 期号 | 4页码:274-278 |
| 关键词 | 金刚石膜 成核 衬底 缺陷 界面 显微结构 化学气相沉积 |
| 中文摘要 | 用透射电子显微镜研究了用热丝法在Ｓｉ＿３Ｎ＿４－ＳｉＣ＿ｗ，ＡｌＮ陶瓷基材上生长的金刚石薄膜的显微结构和金刚石膜－基片界面。结果表明，金刚石膜内有大量的（１１１）孪晶，堆垛层错和位错。Ｓｉ＿３Ｎ＿４－ＳｉＣ＿ｗ基材上的金刚石膜的晶粒细小，有沿基材表面的条纹状的晶粒生长。界面研究表明ＡｌＮ基材上膜－基界面处有两种形核方式：无明显过渡层时，金刚石晶粒呈锥状生长，晶粒间留有孔洞；有界面过渡层时呈柱状生长。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28327]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈岩，戴吉岩，苏革，黄荣芳，闻立时，师昌绪. 陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究[J]. 人工晶体学报,1994(4):274-278. |
| APA | 陈岩，戴吉岩，苏革，黄荣芳，闻立时，师昌绪.(1994).陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究.人工晶体学报(4),274-278. |
| MLA | 陈岩，戴吉岩，苏革，黄荣芳，闻立时，师昌绪."陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究".人工晶体学报 .4(1994):274-278. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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