激光诱导硅烷气相合成纳米硅粉研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李亚利，梁勇，肖克沈，郑丰，胡壮麒 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 1994-07-25 |
| 期号 | 7页码:609-612 |
| 关键词 | 纳米粉 激光合成 硅 |
| 中文摘要 | 采用高功率ＣＯ２激光诱导高纯硅烷气相反应，制备出粉体平均粒径为１０～１２０ｕｍ，晶粒度与平均粒径比为０．３～０．７的各种纳米结晶硅粉。制备出的硅粉粒度均匀，粒子呈球形，但部分粒子间出现烧结。粉体粒径随激光功率、反应压力的增加而增加，随硅烷流量、稀释Ａｒ气的增加而减小。晶粒度对硅烷流量和反应压力的变化不敏感，但随激光功率的降低和混合Ａｒ气的增加而明显减小。Ｓｉ粒子的形成经历了单晶粒子的生长和这些粒子间的碰撞生长过程。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28402]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李亚利，梁勇，肖克沈，郑丰，胡壮麒. 激光诱导硅烷气相合成纳米硅粉研究[J]. 中国激光,1994(7):609-612. |
| APA | 李亚利，梁勇，肖克沈，郑丰，胡壮麒.(1994).激光诱导硅烷气相合成纳米硅粉研究.中国激光(7),609-612. |
| MLA | 李亚利，梁勇，肖克沈，郑丰，胡壮麒."激光诱导硅烷气相合成纳米硅粉研究".中国激光 .7(1994):609-612. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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