多种陶瓷基材上金刚石膜的沉积
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈岩,黄荣芳,闻立时,师昌绪 |
| 刊名 | 硅酸盐学报
 |
| 出版日期 | 1993-06-30 |
| 期号 | 3页码:203-207 |
| 关键词 | 热丝法 陶瓷基材 临界载荷 |
| 中文摘要 | 用热丝法在Si_3N_4,AlN,sialon陶瓷基材上沉积了金刚石薄膜。沉积参数与在单晶硅上沉积金刚石基本一致.沉积速率为1μm/h。用X射线衍射和Raman光谱检测了所形成的膜。用划痕实验估测膜基附着力。结果表明:在Si_3N_4和sialon陶瓷基材上附着力较好;随金刚石膜厚增长,膜基附着力下降。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28592]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈岩,黄荣芳,闻立时,师昌绪. 多种陶瓷基材上金刚石膜的沉积[J]. 硅酸盐学报,1993(3):203-207. |
| APA | 陈岩,黄荣芳,闻立时,师昌绪.(1993).多种陶瓷基材上金刚石膜的沉积.硅酸盐学报(3),203-207. |
| MLA | 陈岩,黄荣芳,闻立时,师昌绪."多种陶瓷基材上金刚石膜的沉积".硅酸盐学报 .3(1993):203-207. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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