大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯钟潮 ; 郭良 ; 梁勇 ; 韩健 ; 侯万良 ; 宁小光 |
| 刊名 | 金属学报
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| 出版日期 | 1992-08-28 |
| 期号 | 8页码:67-71 |
| 关键词 | 激光化学气相沉积 Si_3N_4膜 组织结构 硬度 耐磨 抗蚀 |
| 中文摘要 | 用大功率(kW级)CO_2激光在金属基材上通过化学气相沉积获得α-Si_3N_4膜。膜层多为细小的Si_3N_4颗粒组成,与基材有良好的结合,具有超硬和优良的耐磨抗蚀等性能,厚度在5—30μm范围内可控。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28790]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯钟潮,郭良,梁勇,等. 大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织[J]. 金属学报,1992(8):67-71. |
| APA | 冯钟潮,郭良,梁勇,韩健,侯万良,&宁小光.(1992).大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织.金属学报(8),67-71. |
| MLA | 冯钟潮,et al."大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织".金属学报 .8(1992):67-71. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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