辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系
文献类型：期刊论文
| 作者 | 任建世,张功杼,王桢枢,刘根,刘圣麟 |
| 刊名 | 金属学报
 |
| 出版日期 | 1992-05-30 |
| 期号 | 5页码:85-89 |
| 关键词 | 二元合金 辉光放电 阴极溅射 溅射率 |
| 中文摘要 | 在恒定气压和电压条件下,用测量溅射减量的方法,系统研究了Cr—Fe,Bi-Sb,Cu—Zn,Ag—Cu,Al-Zn和Cd—Sn六个系统的25个试样在辉光放电灯中溅射率与组分的关系结果表明;阴极溅射在稳态时,二元合金(不形成金属间化合物)的溅射率与组元浓度的普遍关系是双曲线,只有在某些特殊情况下,两组元的溅射率相差不大时,可以近似看成线性关系。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28837]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 任建世,张功杼,王桢枢,刘根,刘圣麟. 辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系[J]. 金属学报,1992(5):85-89. |
| APA | 任建世,张功杼,王桢枢,刘根,刘圣麟.(1992).辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系.金属学报(5),85-89. |
| MLA | 任建世,张功杼,王桢枢,刘根,刘圣麟."辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系".金属学报 .5(1992):85-89. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。