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氮化硅及Sialon陶瓷基材上金刚石膜的沉积

文献类型:期刊论文

作者陈岩,黄荣芳,闻立时,师昌绪
刊名材料科学进展
出版日期1992-03-01
期号1页码:56-59
关键词热丝CVD 金刚石薄膜 热膨胀系数
中文摘要本文用热丝 CVD 法在氮化硅复合陶瓷及 Sialon 陶瓷上沉积了金刚石薄膜,用 X 射线衍射、拉曼光谱、扫描电子显微镜、表面形貌仪、划痕实验仪对所形成的膜及基体进行了分析。初步探讨了膜与基材的附着性影响因素。
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28874]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
陈岩,黄荣芳,闻立时,师昌绪. 氮化硅及Sialon陶瓷基材上金刚石膜的沉积[J]. 材料科学进展,1992(1):56-59.
APA 陈岩,黄荣芳,闻立时,师昌绪.(1992).氮化硅及Sialon陶瓷基材上金刚石膜的沉积.材料科学进展(1),56-59.
MLA 陈岩,黄荣芳,闻立时,师昌绪."氮化硅及Sialon陶瓷基材上金刚石膜的沉积".材料科学进展 .1(1992):56-59.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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