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真空镀铝用特制石墨坩埚

文献类型:期刊论文

作者韩耀文
刊名真空科学与技术
出版日期1988-03-01
期号1页码:70
关键词真空镀铝:7309 损毁机理:3146 耐高温氧化:2992 合成树脂:2698 急冷急热:2481 石墨坩埚:2286 新工艺:2261 体积密度:1251 组分:1177 同类产品:983
中文摘要<正> 耐高温熔铝浸蚀、耐高温氧化、耐急冷急热应力损毁的长寿命石墨坩埚是真空镀铝的关键性多消耗部件。中科院金属所广泛调研国内外情况,研究了真空镀铝过程坩埚损毁机理。对比四种坩埚,筛选出最佳的合成树脂复合碳化物填充石墨,采用提高坩埚密度与质量的新工艺,研究选用最佳的石墨组分与工艺相结合,成功地研制成高寿命特制
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29373]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
韩耀文. 真空镀铝用特制石墨坩埚[J]. 真空科学与技术,1988(1):70.
APA 韩耀文.(1988).真空镀铝用特制石墨坩埚.真空科学与技术(1),70.
MLA 韩耀文."真空镀铝用特制石墨坩埚".真空科学与技术 .1(1988):70.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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