离子剥离逐层分析的计算机模拟
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曲哲 ; 谢天生 |
| 刊名 | 金属学报
 |
| 出版日期 | 1986-05-31 |
| 期号 | 5页码:128-133 |
| 关键词 | 计算机模拟:5236 逐层分析:4387 剥离系数:4018 离子轰击:2562 分布曲线:2504 数学模型:2479 表面浓度:2278 元素:2202 离子能量:2069 离子刻蚀技术:1969 |
| 中文摘要 | <正> Auger电子能谱分析与惰性气体离子刻蚀技术相配合测量元素的浓度-深度分布曲线,已广泛用于表面研究中。本工作提出了一个描述离子剥离过程中表层浓度与体内浓度和元素剥离系数之间的关系的数学模型。采用一般文章中常用的假定:(1)当离子能量不高时,被溅射原子只来自表面第一层,(2)每种元素的剥离系数在一定的浓度范围内变化不大,近似地看作是常数,(3)在所研究区域内离子的通量 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29602]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲哲,谢天生. 离子剥离逐层分析的计算机模拟[J]. 金属学报,1986(5):128-133. |
| APA | 曲哲,&谢天生.(1986).离子剥离逐层分析的计算机模拟.金属学报(5),128-133. |
| MLA | 曲哲,et al."离子剥离逐层分析的计算机模拟".金属学报 .5(1986):128-133. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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