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热解氮化硼在分子束外延中的应用

文献类型:期刊论文

作者黄运衡 ; 赵凤鸣
刊名真空科学与技术
出版日期1985-08-29
期号4页码:59-62
关键词分子束外延生长:7211 氮化硼:4324 热解:2616 纯度:2045 真空性能:1927 陶瓷材料:1824 源材料:1781 单晶薄膜:1763 高纯石墨:1681 火花源质谱:1449
中文摘要热解氮化硼(Pyrolytic Boron Nitride,简称PBN)是七十年代发展起来的新型无机陶瓷材料。它可以作绝缘屏蔽和坩锅。本文将介绍PBN材料在分子束外延中用作坩埚,已生长出纯度较高的GaAs,Al_xGa_(1-x)As单晶薄膜。
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29666]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
黄运衡,赵凤鸣. 热解氮化硼在分子束外延中的应用[J]. 真空科学与技术,1985(4):59-62.
APA 黄运衡,&赵凤鸣.(1985).热解氮化硼在分子束外延中的应用.真空科学与技术(4),59-62.
MLA 黄运衡,et al."热解氮化硼在分子束外延中的应用".真空科学与技术 .4(1985):59-62.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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