热解氮化硼在分子束外延中的应用
文献类型:期刊论文
作者 | 黄运衡 ; 赵凤鸣 |
刊名 | 真空科学与技术
![]() |
出版日期 | 1985-08-29 |
期号 | 4页码:59-62 |
关键词 | 分子束外延生长:7211 氮化硼:4324 热解:2616 纯度:2045 真空性能:1927 陶瓷材料:1824 源材料:1781 单晶薄膜:1763 高纯石墨:1681 火花源质谱:1449 |
中文摘要 | 热解氮化硼(Pyrolytic Boron Nitride,简称PBN)是七十年代发展起来的新型无机陶瓷材料。它可以作绝缘屏蔽和坩锅。本文将介绍PBN材料在分子束外延中用作坩埚,已生长出纯度较高的GaAs,Al_xGa_(1-x)As单晶薄膜。 |
公开日期 | 2012-04-12 |
源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29666] ![]() |
专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄运衡,赵凤鸣. 热解氮化硼在分子束外延中的应用[J]. 真空科学与技术,1985(4):59-62. |
APA | 黄运衡,&赵凤鸣.(1985).热解氮化硼在分子束外延中的应用.真空科学与技术(4),59-62. |
MLA | 黄运衡,et al."热解氮化硼在分子束外延中的应用".真空科学与技术 .4(1985):59-62. |
入库方式: OAI收割
来源:金属研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。