热解石墨涂层用做外延基座材料
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵凤鸣 |
| 刊名 | 仪器制造
 |
| 出版日期 | 1980-03-01 |
| 期号 | 1页码:16-21+54 |
| 关键词 | 石墨涂层:5433 热解石墨:4474 硅基座:3301 碳化硅:2703 高纯石墨:2560 玻璃碳:2460 涂层厚度:2405 硅外延层:2321 多晶硅:2238 工艺参数选择:1856 |
| 中文摘要 | 本文介绍了热解石墨涂层的制备,工艺参数的选择,结合热解石墨的性能和若干单位的实践,阐明了对热解石墨涂层做外延基座材料的初浅认识,并对外延中出现的几个问题进行商榷。图4。表1。参考文献11。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/30045]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵凤鸣. 热解石墨涂层用做外延基座材料[J]. 仪器制造,1980(1):16-21+54. |
| APA | 赵凤鸣.(1980).热解石墨涂层用做外延基座材料.仪器制造(1),16-21+54. |
| MLA | 赵凤鸣."热解石墨涂层用做外延基座材料".仪器制造 .1(1980):16-21+54. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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