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GaN 基 HEMT材料的新结构研究

文献类型:学位论文

作者毕杨
学位类别博士
答辩日期2012
授予单位中国科学院研究生院
授予地点北京
导师王晓亮 研究员
关键词氮化镓 铟铝氮 二维电子气 高电子迁移率晶体管 短沟道效应
学位专业微电子学与固体电子学
学科主题半导体物理 ; 半导体材料 ; 半导体器件
公开日期2012-05-30
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22937]  
专题半导体研究所_半导体材料科学中心
推荐引用方式
GB/T 7714
毕杨. GaN 基 HEMT材料的新结构研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2012.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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