强CO_2激光退火时离子注入Si的光学性质
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李元恒
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 1982 |
| 卷号 | 2期号:3页码:285-288 |
| 关键词 | 离子注入 光学性质 激光退火 CO_2激光 注入层 激光辐照 椭圆偏振光 样片 反射率 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 通讯作者 | 李元恒 |
| 中文摘要 | 本文测量了砷离子(As~+)注入的Si在连续CO_2激光辐照下光的椭圆偏振参数、反射率、表面薄层电阻率随时间的变化。从(?)、△、R、ρ的变化看出Si注入层的激光退火是在一定的时间、温度条件下迅速完成的。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/37986]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 李元恒 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李元恒. 强CO_2激光退火时离子注入Si的光学性质[J]. 光学学报,1982,2(3):285-288. |
| APA | 李元恒.(1982).强CO_2激光退火时离子注入Si的光学性质.光学学报,2(3),285-288. |
| MLA | 李元恒."强CO_2激光退火时离子注入Si的光学性质".光学学报 2.3(1982):285-288. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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