Computer simulation of ion beam enhanced deposition of titanium nitride films
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wang Xi ; Zhou Jiankun ; Chen Youshan, Liu Xianghuai and Zou Shichang |
| 刊名 | Proc. of Mater. Res. Soc., 157(1989)91,
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| 出版日期 | 1989 |
| 卷号 | 157页码:91 |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-06-19 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/109096]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang Xi,Zhou Jiankun,Chen Youshan, Liu Xianghuai and Zou Shichang. Computer simulation of ion beam enhanced deposition of titanium nitride films[J]. Proc. of Mater. Res. Soc., 157(1989)91,,1989,157:91. |
| APA | Wang Xi,Zhou Jiankun,&Chen Youshan, Liu Xianghuai and Zou Shichang.(1989).Computer simulation of ion beam enhanced deposition of titanium nitride films.Proc. of Mater. Res. Soc., 157(1989)91,,157,91. |
| MLA | Wang Xi,et al."Computer simulation of ion beam enhanced deposition of titanium nitride films".Proc. of Mater. Res. Soc., 157(1989)91, 157(1989):91. |
入库方式： OAI收割
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