在辉光放电中八氟环丁烷聚合与刻蚀的竞争历程的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 叶牧 ; 陈捷 ; 卢丽珍 ; 陈传正 ; 岳进 |
| 刊名 | 科学通报
 |
| 出版日期 | 1985 |
| 期号 | 9页码:680-683 |
| 关键词 | 氟烷烃 辉光放电 碳氟化合物 环烷烃 全氟烯烃 |
| ISSN号 | 0023-074X |
| 中文摘要 | 在辉光放电中碳氟化合物存在聚合(polymerization)与刻蚀(ablation)两种相反的过程,两者竞争结果对聚合膜的淀积速率、结构和性能均有影响。一般认为,在辉光放电中,全氟烷烃以刻蚀为主;全氟烯烃以聚合为主。全氟环烷烃的氟碳比与全氟烯烃相同,但具有饱和性,兼有全氟烷烃与全氟烯烃的某些特性。对全氟环烷烃等离子体聚合与刻蚀的竞争历程研究尚 |
| 收录类别 | CSCD收录国内期刊论文 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-06-14 |
| 源URL | [http://ir.ciac.jl.cn/handle/322003/46571]  |
| 专题 | 长春应用化学研究所_长春应用化学研究所知识产出_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶牧,陈捷,卢丽珍,等. 在辉光放电中八氟环丁烷聚合与刻蚀的竞争历程的研究[J]. 科学通报,1985(9):680-683. |
| APA | 叶牧,陈捷,卢丽珍,陈传正,&岳进.(1985).在辉光放电中八氟环丁烷聚合与刻蚀的竞争历程的研究.科学通报(9),680-683. |
| MLA | 叶牧,et al."在辉光放电中八氟环丁烷聚合与刻蚀的竞争历程的研究".科学通报 .9(1985):680-683. |
入库方式： OAI收割
来源：长春应用化学研究所
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