有机金属化合物化学气相沉积法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李春鸿 |
| 刊名 | 功能材料
 |
| 出版日期 | 1985 |
| 卷号 | 16期号:5页码:284-289 |
| 关键词 | 有机金属化合物 反应室 化合物半导体 烷基化合物 化学气相沉积法 气相外延 热分解反应 反应物质 新技术 |
| ISSN号 | 1001-9731 |
| 通讯作者 | 李春鸿 |
| 中文摘要 | 一、前言有机金属化合物化学气相沉积法简称MOCVD法(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)或有机金属化合物气相外延法(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy)简称MOVPE或OMVPE法。它是把反应物质全部以有机金属化合物的气体分子形式,用H_2气作载带气体送到反应室,进行热分解反应而形成化合物半导体的一种新技术。由于它用控制气体流量的方法,容易改变化合物的组成及掺杂浓度,同时所用的设备比较简单,生长速度快,周期短,而且有可能进行批量生产。目前,在半导体器件工艺中开始应用和受到重视。 |
| 收录类别 | CSCD收录国内期刊论文 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-06-14 |
| 源URL | [http://ir.ciac.jl.cn/handle/322003/46620]  |
| 专题 | 长春应用化学研究所_长春应用化学研究所知识产出_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李春鸿. 有机金属化合物化学气相沉积法[J]. 功能材料,1985,16(5):284-289. |
| APA | 李春鸿.(1985).有机金属化合物化学气相沉积法.功能材料,16(5),284-289. |
| MLA | 李春鸿."有机金属化合物化学气相沉积法".功能材料 16.5(1985):284-289. |
入库方式： OAI收割
来源：长春应用化学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。