激光显微化学
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨静然 |
| 刊名 | 化学通报
 |
| 出版日期 | 1984 |
| 期号 | 12页码:35-37 |
| 关键词 | 沉积过程 离子激光器 激光诱导 激光束 激光技术 化学气相沉积 基板 紫外激光器 显微化学 空间选择性 |
| ISSN号 | 0441-3776 |
| 通讯作者 | 杨静然 |
| 中文摘要 | 随着激光技术的发展,激光已广泛地渗透到各个科学研究领域,形成一些边缘学科,如激光化学、激光生物学等。近几年激光显微化学最引人注目,由于激光束空间选择性好,可以把反应区限制在很小的体积范围内,因此,它已成功地应用于激光微电镀,多晶硅或金属的激光显微沉积,半导体的激光化学掺杂等方面。 |
| 收录类别 | CSCD收录国内期刊论文 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-06-15 |
| 源URL | [http://ir.ciac.jl.cn/handle/322003/46869]  |
| 专题 | 长春应用化学研究所_长春应用化学研究所知识产出_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨静然. 激光显微化学[J]. 化学通报,1984(12):35-37. |
| APA | 杨静然.(1984).激光显微化学.化学通报(12),35-37. |
| MLA | 杨静然."激光显微化学".化学通报 .12(1984):35-37. |
入库方式： OAI收割
来源：长春应用化学研究所
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