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ITO薄膜的制备和性质

文献类型:期刊论文

作者刘雅言 ; 韩桂林 ; 王岚 ; 刘连元
刊名应用化学
出版日期1983
卷号1期号:1页码:99-102
关键词方块电阻 ITO薄膜 ITO膜 透光率 制备和性质
ISSN号1000-0518
中文摘要本文研究了用喷涂法制备高透明、高电导率的ITO薄膜,建立了简单、适宜的喷涂实验装置,探讨了不同In/Sn重量比、温度等工艺条件对膜透光率、电阻率的影响,对膜的光电性能和结构进行了测试;波长在500—800nm范围内分别在普通玻璃和硼硅酸盐玻璃片上获得了方块电阻达2—5Ω/口,透光率大于80%的ITO膜和方块电阻达6Ω/口,透光率达90—98%的ITO薄膜。
收录类别CSCD收录国内期刊论文
语种中文
公开日期2012-06-15
源URL[http://ir.ciac.jl.cn/handle/322003/47013]  
专题长春应用化学研究所_长春应用化学研究所知识产出_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
刘雅言,韩桂林,王岚,等. ITO薄膜的制备和性质[J]. 应用化学,1983,1(1):99-102.
APA 刘雅言,韩桂林,王岚,&刘连元.(1983).ITO薄膜的制备和性质.应用化学,1(1),99-102.
MLA 刘雅言,et al."ITO薄膜的制备和性质".应用化学 1.1(1983):99-102.

入库方式: OAI收割

来源:长春应用化学研究所

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