ITO薄膜的制备和性质
文献类型:期刊论文
作者 | 刘雅言 ; 韩桂林 ; 王岚 ; 刘连元 |
刊名 | 应用化学
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出版日期 | 1983 |
卷号 | 1期号:1页码:99-102 |
关键词 | 方块电阻 ITO薄膜 ITO膜 透光率 制备和性质 |
ISSN号 | 1000-0518 |
中文摘要 | 本文研究了用喷涂法制备高透明、高电导率的ITO薄膜,建立了简单、适宜的喷涂实验装置,探讨了不同In/Sn重量比、温度等工艺条件对膜透光率、电阻率的影响,对膜的光电性能和结构进行了测试;波长在500—800nm范围内分别在普通玻璃和硼硅酸盐玻璃片上获得了方块电阻达2—5Ω/口,透光率大于80%的ITO膜和方块电阻达6Ω/口,透光率达90—98%的ITO薄膜。 |
收录类别 | CSCD收录国内期刊论文 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-06-15 |
源URL | [http://ir.ciac.jl.cn/handle/322003/47013] ![]() |
专题 | 长春应用化学研究所_长春应用化学研究所知识产出_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘雅言,韩桂林,王岚,等. ITO薄膜的制备和性质[J]. 应用化学,1983,1(1):99-102. |
APA | 刘雅言,韩桂林,王岚,&刘连元.(1983).ITO薄膜的制备和性质.应用化学,1(1),99-102. |
MLA | 刘雅言,et al."ITO薄膜的制备和性质".应用化学 1.1(1983):99-102. |
入库方式: OAI收割
来源:长春应用化学研究所
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