离子注入Si在连续CO_2激光退火时的动态反射特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李元恒
|
| 刊名 | 物理学报
 |
| 出版日期 | 1981 |
| 卷号 | 30期号:4页码:542-544 |
| 关键词 | 连续CO_2激光 反射特性 离子注入 注入层 光反射率 表面载流子浓度 激光退火 激光辐照 激光器 |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| 通讯作者 | 李元恒 |
| 中文摘要 | 本文用红外探测器测量了注磷Si在高功率连续CO_2激光辐照下反射率随时间的变化,发现在激光加热和随后冷却的过程中均出现不可逆的反射率跃升现象,这说明Si的表面载流子浓度也有着类似的变化。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/38278]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 李元恒 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李元恒. 离子注入Si在连续CO_2激光退火时的动态反射特性[J]. 物理学报,1981,30(4):542-544. |
| APA | 李元恒.(1981).离子注入Si在连续CO_2激光退火时的动态反射特性.物理学报,30(4),542-544. |
| MLA | 李元恒."离子注入Si在连续CO_2激光退火时的动态反射特性".物理学报 30.4(1981):542-544. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。