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SX-700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量

文献类型:期刊论文

作者吴坤 ; 薛松 ; 卢启鹏 ; 彭忠琦 ; 陈家华 ; 刘楷
刊名光学精密工程
出版日期2010
期号1
关键词SX-700单色器 正弦机构 转角精度 数值模拟
通讯作者吴坤
中文摘要为了使上海光源(SSRF)研制的SX-700单色器的主要设计指标——波长扫描转角重复精度满足优于0.43″的要求,研究了单色器的波长扫描组件—光栅正弦机构的转角精度误差来源。设计单色器结构时,运用有限元分析软件AN-SYS对光栅正弦机构进行数值模拟计算,并根据模拟结果对光栅正弦机构的转角重复精度进行了误差分析,得到的转角重复精度为0.28″。依据分析结果制定了工程设计方案,并成功加工、装配了SX-700单色器。利用作者建立的一套由光电自准直仪组成的测试系统对光栅正弦机构的转角重复精度进行测试,实测精度为0.15″。结果表明,设计的SSRF的SX-700单色器光栅正弦机构的转角重复精度满足设计要求。
收录类别CNKI
语种中文
公开日期2012-05-23
源URL[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/8348]  
专题上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2004-2010年
推荐引用方式
GB/T 7714
吴坤,薛松,卢启鹏,等. SX-700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量[J]. 光学精密工程,2010(1).
APA 吴坤,薛松,卢启鹏,彭忠琦,陈家华,&刘楷.(2010).SX-700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量.光学精密工程(1).
MLA 吴坤,et al."SX-700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量".光学精密工程 .1(2010).

入库方式: OAI收割

来源:上海应用物理研究所

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