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光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统

文献类型:期刊论文

作者佟亚军 ; 何晓业 ; 赵屹东 ; 郑雷 ; 肖体乔 ; 王秋平
刊名核技术
出版日期2009
期号5
关键词直线位移 测量和标定 光栅单色器
通讯作者佟亚军
中文摘要在同步辐射光束线建设中,为达到单色器的光谱分辨率要求,对波长扫描机构的定位精度要求在μm量级。我们建立的由激光干涉仪、自准直仪组成的直线位移测试系统,可以对直线位移机构进行测试并对机构的直线位移编码器进行标定。该系统不但实现了直线位移的精密测量,还能对机构的直线性进行测量。应用该系统测出位移范围为160mm的直线位移机构的重复精度为1.0×10-3mm,分辨率达7.5×10-5mm,对光栅尺的标定精度达到RMS=3.0×10-4mm。
收录类别CNKI
语种中文
公开日期2012-05-23
源URL[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/8370]  
专题上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2004-2010年
推荐引用方式
GB/T 7714
佟亚军,何晓业,赵屹东,等. 光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统[J]. 核技术,2009(5).
APA 佟亚军,何晓业,赵屹东,郑雷,肖体乔,&王秋平.(2009).光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统.核技术(5).
MLA 佟亚军,et al."光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统".核技术 .5(2009).

入库方式: OAI收割

来源:上海应用物理研究所

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