低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王森 ; 俞国军 ; 巩金龙 ; 李勤涛 ; 朱德彰 ; 朱志远 |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 3 |
| 关键词 | 多孔铝阳极氧化膜 离子束刻蚀 |
| 通讯作者 | 王森 |
| 中文摘要 | 用低能氩离子束(Ar+)处理了多孔铝阳极氧化膜(AAO)表面.扫描电子显微镜和原子力显微镜结果表明,Ar+束刻蚀不仅可以有效地去除AAO反面阻挡层,还可使AAO表面产生多种特殊的形貌,如采用倾角入射可使其表面产生波纹,倾角入射同时旋转样品台,可实现表面抛光.并结合Bradley和Harper提出的无定形材料表面波纹的形成和演化理论解释了AAO表面波纹的特征. |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-05-23 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/8519]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2004-2010年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王森,俞国军,巩金龙,等. 低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究[J]. 物理学报,2006(3). |
| APA | 王森,俞国军,巩金龙,李勤涛,朱德彰,&朱志远.(2006).低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究.物理学报(3). |
| MLA | 王森,et al."低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究".物理学报 .3(2006). |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。