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用于多组分微图形制备的级联缩微方法及影响因素研究

文献类型:期刊论文

作者李海 ; 武海萍 ; 黄一波 ; 张晓东 ; 欧阳振乾 ; 张益 ; 胡钧
刊名电子显微学报
出版日期2007-04-15
期号02
通讯作者李海
中文摘要固体材料表面图案化微结构的制备是实现其功能化的一条重要途径,也是当前的一个研究热点。本文介绍了一种具有较高保真度和精度的制备多组分微米图形的新方法——级联缩微方法(serial contraction and adsorption nanolithography,SCAN)。展示了利用一维SCAN方法制备的彩色墨水的微米级线条图形(线宽约1μm和4μm)、用二维SCAN方法制备的彩色墨水的微米级点阵(直径为30μm)以及多色文字的微图形。采用光学显微镜成像和原子力显微镜成像两种手段研究和讨论了影响级联微缩的因素,探讨了该方法的限度和潜在的应用前景。
收录类别CNKI
语种中文
公开日期2012-05-30
源URL[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/8803]  
专题上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2004-2010年
推荐引用方式
GB/T 7714
李海,武海萍,黄一波,等. 用于多组分微图形制备的级联缩微方法及影响因素研究[J]. 电子显微学报,2007(02).
APA 李海.,武海萍.,黄一波.,张晓东.,欧阳振乾.,...&胡钧.(2007).用于多组分微图形制备的级联缩微方法及影响因素研究.电子显微学报(02).
MLA 李海,et al."用于多组分微图形制备的级联缩微方法及影响因素研究".电子显微学报 .02(2007).

入库方式: OAI收割

来源:上海应用物理研究所

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