电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器的研制
文献类型:学位论文
作者 | 康中波 |
学位类别 | 硕士 |
答辩日期 | 2012 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 宁瑾 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
学科主题 | 微电子学 |
公开日期 | 2012-07-09 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23246] |
专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 康中波. 电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器的研制[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2012. |
入库方式: OAI收割
来源:半导体研究所
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