一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用
文献类型：专利
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| 作者 | 秦建华 ; 马静云 ; 姜雷 ; 李艳峰 ; 林炳承 |
| 发表日期 | 2011 |
| 专利国别 | 中文 |
| 专利号 | CN201010112969.X |
| 专利类型 | 发明 |
| 关键词 | 物理化学 |
| 权利人 | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 是否PCT专利 | 待填写 |
| 中文摘要 | 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用，本发明以自然界中最易获得的太阳光作为曝光光源，避免了常规光刻中较为昂贵的光刻机的使用，待曝光的光刻胶平板放在与太阳光相垂直的方向曝光即可，通过UV能量检测器校正阳光下的曝光时长，可以得到光刻胶上各种尺寸微图案良好的曝光结果；这种方法简易、廉价、易于操作、环境友好，而且可以进行芯片的批量生产，期望有益于仪器购买基金不足或处于起步阶段的实验室进入到微流控芯片领域。 |
| 学科主题 | 物理化学 |
| 公开日期 | 2011-08-24 |
| 申请日期 | 2010-02-24 |
| 语种 | 中文 |
| 资助信息 | 中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学 |
| 专利证书号 | 待填写 |
| 专利申请号 | CN201010112969.X |
| 专利代理 | 张晨 |
| 源URL | [http://159.226.238.44/handle/321008/116186]  |
| 专题 | 大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦建华,马静云,姜雷,等. 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用, 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用. CN201010112969.X. 2011-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：大连化学物理研究所
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