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一种薄膜的测漏装置及检测方法

文献类型:专利

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作者刘景开 ; 张华民 ; 高素军
发表日期2011
专利国别中文
专利号CN201010210132.9
专利类型发明
关键词物理化学
权利人中国科学院大连化学物理研究所 ; 大连融科储能技术发展有限公司
是否PCT专利待填写
中文摘要本发明涉及一种薄膜的测漏装置及其检测方法;侧漏装置包括带凹槽的底座、作为支撑的孔板或钢性筛网、中空的环形上盖;孔板或钢性筛网设置于带凹槽的底座上方,凹槽的内壁上开设有贯穿底座的进气孔;孔板或钢性筛网扣置于凹槽,环形上盖设置于孔板或钢性筛网的上方,将孔板或钢性筛网压紧于底座上。采用本发明可有效的提高对薄膜测漏的效率。
学科主题物理化学
公开日期2011-12-28
申请日期2010-06-25
语种中文
资助信息中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
专利证书号待填写
专利申请号CN201010210132.9
专利代理马驰
源URL[http://159.226.238.44/handle/321008/116263]  
专题大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘景开,张华民,高素军. 一种薄膜的测漏装置及检测方法, 一种薄膜的测漏装置及检测方法. CN201010210132.9. 2011-01-01.

入库方式: OAI收割

来源:大连化学物理研究所

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