一种薄膜的测漏装置及检测方法
文献类型:专利
; | |
作者 | 刘景开 ; 张华民 ; 高素军 |
发表日期 | 2011 |
专利国别 | 中文 |
专利号 | CN201010210132.9 |
专利类型 | 发明 |
关键词 | 物理化学 |
权利人 | 中国科学院大连化学物理研究所 ; 大连融科储能技术发展有限公司 |
是否PCT专利 | 待填写 |
中文摘要 | 本发明涉及一种薄膜的测漏装置及其检测方法;侧漏装置包括带凹槽的底座、作为支撑的孔板或钢性筛网、中空的环形上盖;孔板或钢性筛网设置于带凹槽的底座上方,凹槽的内壁上开设有贯穿底座的进气孔;孔板或钢性筛网扣置于凹槽,环形上盖设置于孔板或钢性筛网的上方,将孔板或钢性筛网压紧于底座上。采用本发明可有效的提高对薄膜测漏的效率。 |
学科主题 | 物理化学 |
公开日期 | 2011-12-28 |
申请日期 | 2010-06-25 |
语种 | 中文 |
资助信息 | 中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学 |
专利证书号 | 待填写 |
专利申请号 | CN201010210132.9 |
专利代理 | 马驰 |
源URL | [http://159.226.238.44/handle/321008/116263] |
专题 | 大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘景开,张华民,高素军. 一种薄膜的测漏装置及检测方法, 一种薄膜的测漏装置及检测方法. CN201010210132.9. 2011-01-01. |
入库方式: OAI收割
来源:大连化学物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。