一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孔德义 ; 高理升; 王焕钦; 张瑞
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| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2011 |
| 期号 | 3 |
| 学科主题 | 仿生感知与控制 |
| 公开日期 | 2012-07-13 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/6756]  |
| 专题 | 合肥物质科学研究院_中科院合肥智能机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孔德义,高理升,王焕钦,等. 一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器[J]. 微纳电子技术,2011(3). |
| APA | 孔德义,高理升,王焕钦,&张瑞.(2011).一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器.微纳电子技术(3). |
| MLA | 孔德义,et al."一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器".微纳电子技术 .3(2011). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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