斜入射法检测平面反射镜面形的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 马春桃 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2011-05 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 王劼 |
| 关键词 | 测量 镜面面形 斜入射法 斜率误差 |
| 学位专业 | 光学工程 |
| 中文摘要 | 为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测，本文对斜入射检测方法进行了研究，增大投射到待测镜上光斑的尺寸，从而增大干涉仪检测的镜面口径范围。推导了斜入射法检测平面反射镜面形的公式，并考虑了此方法可能引入的误差。对尺寸为124mm×42mm的平面反射镜分别在垂直和不同斜入射角条件下进行了测量，垂直入射时测得镜子工作表面面形起伏高度均方根（RMS）和峰谷值（peak-to-valley）分别为和16.3nm和67.8nm，斜入射时测得镜子工作表面的面形起伏高度均方根和峰谷值分别为16.8nm和68.7nm，相对误差分别为3%和0.9%，可以满足第三代同步辐射光束线的要求。实验结果表明，该方法稳定可靠，操作方便，可以用来检测大口径光学镜面。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-08-15 |
| 分类号 | TH741.8 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/9655]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马春桃. 斜入射法检测平面反射镜面形的研究[D]. 中国科学院研究生院. 2011. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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