一种激光掩膜投影精细加工系统 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 谢冀江
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| 发表日期 | 2008-07-23 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种激光掩膜投影精细加工系统，属于激光加工技术领域中涉及的加工系统。解决的技术问题是：提供一种激光掩膜投影精细加工系统。技术方案：包括激光器、扩束器、扫描器、光吸收器、掩膜、成像透镜、被加工件、工作台。在激光束的光轴上，置有扩束器、扫描器。扫描器中的Ｘ轴反射镜与光轴成４５°角安装，能沿光轴方向移动，在折反的激光束传播方…… |
| 公开日期 | 2008-07-23 |
| 专利申请号 | 200510119100.7 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10937]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢冀江. 一种激光掩膜投影精细加工系统 (发明). 2008-07-23. |
入库方式： OAI收割
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