超精密微位移导轨磁悬浮方法及其装置 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 宋文荣 ; 何惠阳 ; 王延风 ; 于国飞 ; 查明 |
| 发表日期 | 2005-08-17 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及超精密微位移导轨磁悬浮方法及装置，方法是控制磁悬浮线圈向上浮起，使微进给平台悬浮在导轨上，利用控制系统驱动微进给平台沿导轨实现精密、超精密直线微进给运动。装置包括直线电机初级１、导轨２、微进给平台３、直线电机次级４、初级底座５、机构底座６、磁悬浮线圈７、起落支撑８、控制计算机９、电机功率放大器１０、磁悬浮线圈…… |
| 公开日期 | 2005-08-17 |
| 专利申请号 | 2132839 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10943]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋文荣,何惠阳,王延风,等. 超精密微位移导轨磁悬浮方法及其装置 (发明). 2005-08-17. |
入库方式： OAI收割
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