制备ＺｎＭｇＯ合金薄膜的方法 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 张振中 ; 李炳辉; 申德振
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| 发表日期 | 2011-12-28 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种制备ＺｎＭｇＯ合金薄膜的方法，以金属Ｚｎ作为Ｚｎ源，以金属Ｍｇ作为Ｍｇ源，在通入氧气的等离子体辅助分子束外延设备中通过加热Ｚｎ源、Ｍｇ源，在蓝宝石衬底上沉积生长获得ＺｎＭｇＯ合金薄膜，固定Ｚｎ源和Ｍｇ源的温度，通过改变参与反应的氧气的流量，得到不同Ｍｇ组分的ＺｎＭｇＯ合金薄膜，在生长温度为６００℃～８００…… |
| 公开日期 | 2011-12-28 |
| 专利申请号 | 200710056297.3 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11046]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张振中,李炳辉,申德振. 制备ＺｎＭｇＯ合金薄膜的方法 (发明). 2011-12-28. |
入库方式： OAI收割
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