硅基有机微光机声压传感器芯片制备方法 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 张平
|
| 发表日期 | 2001-10-24 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明属光电子传感器技术领域，涉及一种对硅基集成微光机声压传感器制备方法的改进。本发明用有机材料成膜技术取代了复杂的化学气相沉积和等离子增强化学气相沉积等制备技术，制作Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ干涉仪脊型光波导结构，使得光波导结构中各层薄膜的制备工艺得到简化、制作方便、制作成本得以降低、性能得以改善并制备出硅基有机微光机…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 1119332.8 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11121]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张平. 硅基有机微光机声压传感器芯片制备方法 (发明). 2001-10-24. |
入库方式： OAI收割
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