柔性平板波压差式微流量传感器及其制作方法 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 吴一辉
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| 发表日期 | 2007-06-27 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及微流量测量的传感器及制作方法。包括：入、出口１、１１、上盖２、微腔体３、９、主体４、导线５、８、支架６、信号处理模块７、微管道１０。上盖氧化、涂胶、光刻、去二氧化硅、去胶，刻蚀得两通孔；主体Ａ、Ｂ面氧化、Ａ面涂胶、光刻、去二氧化硅、一次腐蚀得两个腐蚀坑、Ｂ面制导电地层、激励层、四个叉指换能器，二次腐蚀得两个凹…… |
| 公开日期 | 2007-06-27 |
| 专利申请号 | 200410011217.9 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11122]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 柔性平板波压差式微流量传感器及其制作方法 (发明). 2007-06-27. |
入库方式： OAI收割
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