一种变焦距X射线组合透镜及其制作方法 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 梁静秋 ; 梁中翥
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| 发表日期 | 2009-04-08 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明属于光学技术领域，涉及一种变焦距Ｘ射线组合透镜及其制作方法。该组合透镜包括透镜主体及透镜主体上间隔排列的空气腔，所述透镜主体材料为ＰＭＭＡ；其制作方法是首先在起到支撑作用的单晶硅片表面依次制作聚酰亚胺、金属薄膜和光刻胶等所需层面；然后经过光刻，电铸，去胶，开窗口等步骤，完成光刻透镜主体时所使用的掩膜和光刻空气腔时…… |
| 公开日期 | 2009-04-08 |
| 专利申请号 | 200710055944.9 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11205]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,梁中翥. 一种变焦距X射线组合透镜及其制作方法 (发明). 2009-04-08. |
入库方式： OAI收割
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