柔性悬臂微机械光开关制作方法 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 梁静秋 ; 梁中翥; 陈斌
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| 发表日期 | 2009-12-30 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明属于光电器件技术领域，是一种柔性悬臂微机械光开关的制作方法。制作过程包括：基片处理，制作牺牲层，制作聚酰亚胺底层，制作第一层线圈，制作线圈连接柱，制作第二层线圈，制作上保护层及悬臂释放，粘接永磁体，安装棱柱形微反射镜。本发明引入聚酰亚胺材料制作悬臂，在其上制作平面线圈绕组，有效解决了磁扰问题，且具有性能稳定，制作…… |
| 公开日期 | 2009-12-30 |
| 专利申请号 | 200710056339.3 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11238]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,梁中翥,陈斌. 柔性悬臂微机械光开关制作方法 (发明). 2009-12-30. |
入库方式： OAI收割
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