用射频等离子体辅助制备氧化锌纳米管的方法 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 申德振 ; 张振中
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| 发表日期 | 2007-08-08 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明属于半导体材料技术领域，涉及一种利用等离子体辅助的分子束外延制备氧化物纳米管的方法。先用射频等离子辅助的分子束外延设备，在蓝宝石或硅衬底上生长ＺｎＯ薄层，薄层厚度为１～８ｎｍ。通过射频等离子辅助的分子束外延设备的流量计和漏阀，对气体流量进行检测和控制。打开离子捕获阱时只有中性粒子进入生长室，关闭时则等离子体进入生…… |
| 公开日期 | 2007-08-08 |
| 专利申请号 | 200410010859.7 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11372]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 申德振,张振中. 用射频等离子体辅助制备氧化锌纳米管的方法 (发明). 2007-08-08. |
入库方式： OAI收割
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