离子注入机 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 付国柱 ; 邵喜斌 ; 荆海 ; 廖燕平 ; 高文涛 ; 史辉琨 |
| 发表日期 | 2006-10-25 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明属于半导体器件制作技术领域，是一种多晶硅薄膜晶体管离子注入机。本发明包含有真空室，抽气装置，气路部分，电控制器。本发明的气路部分通过配气截止阀同真空室连接，向真空室运送所要注入的气体。抽气装置通过角阀和闸板阀同真空室连接，利用真空泵使真空室保持一定的真空度。电控制器连接所有的用电部件，作为本发明的电源。本发明采取…… |
| 公开日期 | 2006-10-25 |
| 专利申请号 | 200310115894.0 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11374]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付国柱,邵喜斌,荆海,等. 离子注入机 (发明). 2006-10-25. |
入库方式： OAI收割
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