制备太阳盲紫外探测器的方法 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 张振中 ; 李炳辉; 赵东旭; 申德振
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| 发表日期 | 2009-12-02 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及紫外探测器的制备方法，特别是一种制备太阳盲紫外探测器的方法，采用金属有机化学气相沉积法在蓝宝石衬底上制备氧锌镁膜层，在该氧锌镁膜层上再蒸镀Ａｕ膜层，用湿法刻蚀Ａｕ膜层制备出叉指形电极，所述的氧锌镁膜层是在以下工艺条件下获得的具有单一立方相的、其吸收边从２２０ｎｍ到２６０ｎｍ的ＭｇＺｎＯ薄膜：生长温度为３００℃…… |
| 公开日期 | 2009-12-02 |
| 专利申请号 | 200810051098.8 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11515]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张振中,李炳辉,赵东旭,等. 制备太阳盲紫外探测器的方法 (发明). 2009-12-02. |
入库方式： OAI收割
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