一种全息光栅制作中曝光量的实时监测装置 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 李文昊 ; 巴音贺希格 ; 于宏柱 ; 王长庚 ; 孔鹏 |
| 发表日期 | 2009-05-13 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种全息光栅制作中曝光量的实时监测装置，属于光谱技术领域中涉及的实时监测曝光量装置。要解决的技术问题是提供一种全息光栅制作中曝光量实时监测装置。技术方案包括光栅基底、潜像光栅、记录光束、干涉场、光电接收器、记录激光器、平面反射镜、空间滤波器、准直反射镜、调整反射镜、监测激光器、数据处理系统和显示器；将涂有光致抗蚀剂的光…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 200810187630.9 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11556]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文昊,巴音贺希格,于宏柱,等. 一种全息光栅制作中曝光量的实时监测装置 (发明). 2009-05-13. |
入库方式： OAI收割
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