实现拾取和翻转芯片的装置 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 张德龙 ; 吴玉彬 ; 宋志 ; 常丰吉 ; 田学光 |
| 发表日期 | 2012-02-22 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种实现拾取和翻转芯片的装置，该装置利用翻转电机通过翻转电机连接套直接驱动吸头装置运动，从而实现芯片翻转，翻转杆内部的通孔与导向杆、吸杆、吸嘴的轴孔共同构成真空通道，外部气路通过气管接头和该真空通道作用于吸嘴端部，来进行芯片吸取。本发明由于采用翻转电机直接驱动吸头装置运动，具有结构简单、体积小、工作可靠、成本…… |
| 公开日期 | 2012-02-22 |
| 专利申请号 | 200910217905.3 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11667]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张德龙,吴玉彬,宋志,等. 实现拾取和翻转芯片的装置 (发明). 2012-02-22. |
入库方式： OAI收割
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