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球形凹面上投影平行线图形的激光直写方法及其装置 (发明)

文献类型:专利

作者高劲松; 冯晓国; 赵晶丽
发表日期2012-07-25
专利类型发明专利
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中文摘要本发明涉及一种球形凹面上投影平行线图形的激光直写方法,该方法包括下述步骤:设定垂直轴AA’、第一水平轴CC’、第二水平轴DD’和旋转轴BB’;直写物镜绕第一水平轴CC’每转动到一个设定角度,控制球形工件在绕垂直轴AA’转动的同时也绕第二水平轴DD’转动;在球形工件转动过程中,控制激光快门,使直写物镜焦斑在球形工件凹面上……
公开日期2012-07-25
专利申请号201010190079.0
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11775]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
高劲松,冯晓国,赵晶丽. 球形凹面上投影平行线图形的激光直写方法及其装置 (发明). 2012-07-25.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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