一种生长高铟组分铟镓砷的方法 (发明)
文献类型:专利
作者 | 宋航![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2011-08-03 |
专利类型 | 发明专利 |
权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
中文摘要 | 一种生长高铟组分铟镓砷的方法,涉及光电子材料与器件的应用领域,它解决了现有InxGa1-xAs红外探测器中由于提高InxGa1-xAs中In组分与InP衬底产生晶格失配,导致探测器性能下降,增加了缓冲层厚度的问题,本发明在低温430℃时生长组分为InxGa1-xAs缓冲层,然后升高温度,并在高温对缓冲层进行恒温处理,然…… |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利申请号 | 201010604154.3 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11926] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋航,缪国庆,缪国庆,等. 一种生长高铟组分铟镓砷的方法 (发明). 2011-08-03. |
入库方式: OAI收割
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