一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 倪明阳 ; 王学亮; 袁文全; 巩岩; 张巍; 赵磊
|
| 发表日期 | 2011-12-14 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决了光刻投影物镜镜头的高精度自动装配、检测、调整问题。本发明装置包括Ｚ轴立柱、上检测立柱、上检测头、可动调整平台、气浮转台、水平大理石平台、调整机构、隔振支撑腿和调整平台连接支架；所述Ｚ轴立柱、上检测立柱和气浮转台分别垂直固定在水平大理…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201110212283.2 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12000]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 倪明阳,王学亮,袁文全,等. 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明). 2011-12-14. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。