一种深紫外光学薄膜处理装置 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 金春水 ; 邓文渊; 靳京城
|
| 发表日期 | 2012-05-02 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种深紫外光学薄膜处理装置涉及深紫外光学技术应用领域，该装置包括：控制模块和处理腔。控制模块对处理腔的工作状态进行设定和控制，处理腔对深紫外光学薄膜进行处理；控制模块包括：变压器、电容、数字电路板、第一开关、第二开关和第三开关；处理腔包括：处理腔外壳、红外线灯、紫外光灯、样品台、低温热电偶探头和隔离挡板。该装置同时具有…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201110346866.4 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12085]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,邓文渊,靳京城. 一种深紫外光学薄膜处理装置 (发明). 2012-05-02. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。