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紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪 (发明)

文献类型:专利

作者靳京城; 邓文渊; 金春水
发表日期2012-06-27
专利类型发明专利
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中文摘要紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪涉及光学薄膜元件应用技术领域,包括:ArF激光激发模块、KrF激光激发模块、样品室、荧光探测模块和实验同步控制模块;ArF激光激发模块和KrF激光激发模块发射并传输激光,入射至样品室的样品表面,产生荧光;样品被激发所产生的荧光从样品室出射,入射至荧光探测模块进行光谱分光,并被……
公开日期2012-08-29
专利申请号201110346722.9
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12160]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
靳京城,邓文渊,金春水. 紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪 (发明). 2012-06-27.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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